実験用周辺設備
治具
ディップコーティングには、ワークに対してどこかを掴むことが必要になります。
ワーク保持用の治具は、ワークの掴める場所および掴み方、処理数や耐環境に合わせてカスタマイズする必要があります。
エコートプレシジョンでは、過去にワークに合わせた様々な治具を製作してきた経験から、専用治具の提供が可能です。
現在お持ちのディップコーターに新たな専用の治具を製作したいなどの対応もできますので、お気軽にご相談ください。
[治具製作ワーク]
- ガラス板
- シリコンウェハー
- フィルム材
- ステンレス板材
- メガネレンズ
- セラミック中空材・板材
- 特殊形状プラスチック
- 特殊刃物など
[治具製作例]
![ガラス吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i57cf4d7d8d680a97/version/1705974469/%E3%82%AC%E3%83%A9%E3%82%B9%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![基盤吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/ie1260ba0410d13eb/version/1705974641/%E5%9F%BA%E7%9B%A4%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![レンズ吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i8112abfe68e414e4/version/1705974521/%E3%83%AC%E3%83%B3%E3%82%BA%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![基板吊り下げハンガー](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/if98a05dfd8691d7d/version/1705974549/%E5%9F%BA%E6%9D%BF%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E3%83%8F%E3%83%B3%E3%82%AC%E3%83%BC.png)
![レンズ吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i797eba034c9c85f3/version/1705974580/%E3%83%AC%E3%83%B3%E3%82%BA%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![ウェハ吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i777b64e6d3c52db5/version/1705974594/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![ガラス塗布治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i31c14dbb0d4eb300/version/1705974564/%E3%82%AC%E3%83%A9%E3%82%B9%E5%A1%97%E5%B8%83%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![円筒ワーク吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i2db0ba9d9b446f67/version/1705974624/%E5%86%86%E7%AD%92%E3%83%AF%E3%83%BC%E3%82%AF%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
![刃物吊り下げ治具](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=261x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i049f42282b711dc7/version/1705974608/%E5%88%83%E7%89%A9%E5%90%8A%E3%82%8A%E4%B8%8B%E3%81%92%E6%B2%BB%E5%85%B7.png)
実験用循環槽
![実験用循環槽](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=405x10000:format=jpg/path/s33409af68f17e303/image/i28e0a4d48940acc6/version/1705974670/%E5%AE%9F%E9%A8%93%E7%94%A8%E5%BE%AA%E7%92%B0%E6%A7%BD.jpg)
![テフロンコートタンク](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=314x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i3cd6688f2bed816d/version/1705974682/%E3%83%86%E3%83%95%E3%83%AD%E3%83%B3%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%83%88%E3%82%BF%E3%83%B3%E3%82%AF.png)
【テフロンコート循環槽製作事例】
実験用の場合、多くのお客様は液槽にビーカーや簡易的なステンレス槽などを使用される場合が多くあります。
数枚程度のコーティング試験であればよいのですが、一日に数十枚または、数週間以上そのコート液を使用する場合などは、実験用とはいえ液の管理が必要になります。当社ではこういった場合には、循環槽のご使用を推奨しています。
主な機能として、
- 液面の一定化(コーティングエリア均一化)
- 液のフィルタリング(コンタミ除去と液攪拌)
- 液温度の均一化(粘度の一定化)
- 液濃度の管理(膜厚の一定化)
などが必要になります。
実験用から小ロット生産用まで、上記の機能をもった循環槽を提案いたします。
ワークやコート液にあわせたカスタマイズが可能です。
研究開発に最適な設備のご提案ができますので、お気軽にご相談ください。
簡易液槽
![実験用タンク](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=405x10000:format=png/path/s33409af68f17e303/image/i1d33d0a2badd47ac/version/1705974694/%E5%AE%9F%E9%A8%93%E7%94%A8%E3%82%BF%E3%83%B3%E3%82%AF.png)
実験用の簡易液槽もお作りしております。
使用されるワークやコート液にあわせて材質選びから選定させていただきます。
フタ付き・取手付きなども対応可能
主要材
金属:SUS304・SUS316(テフロンコート可能)
樹脂:PVC・アクリル
ガラス:テンパックス・石英
コート液に合わせて、その他の材質も対応可能です。
ワークやコート液にあわせたカスタマイズが可能です。
研究開発に最適な設備のご提案ができますので、お気軽にご相談ください。
専用除振台
ディップコーティングの作業をする設置場所の振動は、直接コート膜に影響を及ぼします。
いくらディップコーティング装置側で振動対策を行っていても設置する建屋が振動している場合は、意味がありません。
そこでディップコーティング装置導入時は、専用除振台の設置を推奨しています。
除振台は大きな振動ではなく、ビルなどの微振動がコーティング装置側に伝達するのを軽減する装置になります。
![除振台](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/none/path/s33409af68f17e303/image/i9203c1b942836cd7/version/1705974708/%E9%99%A4%E6%8C%AF%E5%8F%B0.jpg)
型式 | UAX | UMX | ||
固有振動数(垂直方向) | 1.8Hz~2.5Hz | |||
固有振動数(水平方向) | 3.2Hz~4.0Hz | |||
除振方式 | 全方位対応三次元空気ばね | |||
水平維持方式 | 自動式 | 手動式 | ||
搭載可能重量 | MAX100kg | |||
外形寸法 |
横幅 440mm 奥行 540mm 高さ 57mm |
|||
重量 | 23kg |
気流対策・清浄度対策用風防ボックス
![風防ボックス付きディップコーター](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=268x10000:format=jpg/path/s33409af68f17e303/image/i92c39d0cdebdd01f/version/1706073360/%E9%A2%A8%E9%98%B2%E3%83%9C%E3%83%83%E3%82%AF%E3%82%B9%E4%BB%98%E3%81%8D%E3%83%87%E3%82%A3%E3%83%83%E3%83%97%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%BF%E3%83%BC.jpg)
ディップコーティングでワーク引き上げ中に、設置環境内に気流が発生しているとコート膜は気流の影響を受け、均一なコート膜になりません。
ディップコーティングの作業をする設置場所の気流対策として、風除け用の風防ボックスを推奨しています。
また同時にFFUによりボックス内作業環境の清浄度をあげることで、ワーク表面にコンタミや埃などの低減することが可能になります。
風防ボックスに精密空調機を取り付ければ温湿度管理も可能になります。
夏場と冬場では主に湿度が変わります。
一定の温湿度条件でのディップコーティングは、コート膜の再現性を求めるうえで必要となります。
コーティング処理中は、風が膜乱れの影響になるのでFFUや空調機などは停止する必要があります。